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晶圆加热盘以及热模组批量化

2022-12-22 管理员 阅读 3013

完成6寸、8寸、12寸晶圆加热盘以及热模组批量化交付,拥有全新的SDP开发工艺技术,能够根据用户端的实际需求提供(不锈钢)工艺、真空钎焊工艺、重力压铸(铝合金)工艺等全套解决方案,完成进口替代。