晶圆加热盘以及热模组批量化_杭州量动自动化设备有限公司

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晶圆加热盘以及热模组批量化

2022-12-22 管理员阅读 847

完成6寸、8寸、12寸晶圆加热盘以及热模组批量化交付，拥有全新的SDP开发工艺技术，能够根据用户端的实际需求提供（不锈钢）工艺、真空钎焊工艺、重力压铸（铝合金）工艺等全套解决方案，完成进口替代。

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