Application industry
应用行业
半导体行业

杭州量动自动化设备有限公司是半导体行业加热器解决方案供应商,致力于满足客户定制化需求,半导体加热器供应商。公司生产的加热棒、加热管、加热器等产品应用于半导体模具加热、半导体清洗设备、晶圆湿法清洗设备、硅片清洗设备、半导体前端生产气体加热等,我司针对半导体行业产品的特殊性,提供技术选型设计,采用稳定可靠的原材料和特殊工艺(电解抛光工艺)使得电加热产品在半导体行业获得了客户的认可和好评,为我国芯片国产化作出了应有的贡献!


主要用于以下应用:
如您需要产品选择方面的建议或技术支持,请联系我们
我们应用于本行业的产品:
  • Φ3.2MM加热管元件
  • 加热棒
  • 模具加热棒
  • 激光硅胶板
    采用激光刻录(DLE)的工艺设计制作,能够实现均温性能±2℃,可用于低温的表面加热工艺使用。
  • 蚀刻气体处理加热管
    相关腐蚀性尾气处理场景应用元件,能够在高温高腐蚀性能下实现加热功能,可以实现VOC热解,氟化物气体加热回收等高难度技术工艺。是相关行业核心技术保障。。
  • 气体流体加热器
    半导体级或者标准工业级气体流体加热器,可用于加热各类型气体。可实现即热式加热,循环加热等工艺需求全系列产品配合LD-CS专利热工控制系统能够实现更优异的温度精度及耐受度。是值得选择的可靠产品。
  • 液体流体加热器
    半导体级或工业级液体流体加热器能够实现各类型液体环境的即热加热及循环加热,适应性极强,能够实现纯水,去离子水,酸液,碱液,油液等各类型介质加热。 全系列产品配合LD-CS专利热工控制系统能够实现更优异的温度精度及耐受度。是值得选择的可靠产品。
  • LD-GDC压铸型
    采用全新的重力压铸(铝合金)工艺制作,加热元件与铝合金基材保持紧密接触,提供均匀的热传递和更长的整体寿命,有效地利用了铝合金高导热性。 两款均可内嵌温度传感器以及冷却模组。这些压板还配备了三个 3.2或4.2 毫米(可定制)通孔提升销孔。我们对这些装置的标准清洁过程包括深度超声波清洗,然后是彻底的 IPA 擦拭 工作温度高达 752°F (400°C),温度均匀性达到设定点的 ± 0.3%
  • 晶圆加热板
    半导体级或者标准工业级气体流体加热器,可用于加热各类型气体。可实现即热式加热,循环加热等工艺需求全系列产品配合LD-CS专利热工控制系统能够实现更优异的温度精度及耐受度。是值得选择的可靠产品。
  • CAS在晶圆加热器的研发和制造方面表现突出。功能,如冷却管和多个加热区可以合并,允许更短的周期时间和改进的温度管理。为了方便与控制包的无缝集成,底座加热器配备了热电偶或RTD传感器。拥有CNC过盈匹配IMD技术,重力压铸技术,可实现不锈钢制加热盘及压铸铝系列加热盘产品。
  • 使用有限元分析(FEA),包括行业领先的SDP数字化仿真开发工艺,CAS工程师开发热和结构模型,以评估加热器和部件的性能原型。